PVD機台
機台架構
  • 每部PVD都具備6個腔體位置,與EFEM高度整合
  • 可依客戶需求選擇腔體配置,高度客製化
  • 可選擇薄片處理架構
  • 可選配ICP,degas
  • 可選搭long throw架構
  • 反應式濺鍍可選搭in-situ pasting模組
  • 搭配SECS / GEM高度自動化